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  • UltraFilm - 薄膜測量系統(tǒng)

    系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù),是國內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

    更新時間:2024-11-26
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1544
  • UltraShape - 晶圓關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)

    系統(tǒng)用于磨片、拋光等前道工藝流程中的晶圓尺寸及形貌檢測,包括TTV,Bow,Warp,TIR等參數(shù),可覆蓋4寸-12寸任何材質(zhì)晶圓的關(guān)鍵尺寸檢測,精度達(dá)國際水平,產(chǎn)能和經(jīng)濟(jì)效益遠(yuǎn)超國內(nèi)外產(chǎn)品。

    更新時間:2024-11-09
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1262
  • UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)

    UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品,系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù):晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊;輪廓、量測和檢查模塊

    更新時間:2024-11-09
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:1422
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