當前位置：首頁 > 技術(shù)文章
硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對厚度測量提出多樣化需求，催生出一系列精準高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實際應(yīng)用場景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量：機械與壓電技...
隨著科技的飛速發(fā)展，芯片制造已成為現(xiàn)代工業(yè)的重要組成部分。在芯片制造過程中，掩模對準曝光機作為關(guān)鍵設(shè)備，其精度直接影響著芯片的性能與品質(zhì)。本文將對掩模對準曝光機的精度評估及其對芯片制造的影響進行深入分析。首先，掩模對準曝光機的主要功能是將掩模上的電路圖形準確無誤地轉(zhuǎn)移到硅片上。在這一過程中，對準精度和曝光精度是兩個關(guān)鍵參數(shù)。對準精度決定了掩模與硅片之間的相對位置，而曝光精度則影響著圖形轉(zhuǎn)移到硅片上的質(zhì)量。對于對準精度，主要考慮X軸、Y軸和旋轉(zhuǎn)三個方向的偏差。通過對大量實際生產(chǎn)...
隨著科技的不斷進步，對表面形貌的測量要求也越來越高，不僅要求高精度，而且要求快速、非接觸和實時。傳統(tǒng)的接觸式測量方法由于其局限性，已經(jīng)難以滿足這些要求。因此，高精度表面形貌測量技術(shù)的發(fā)展迫在眉睫。動態(tài)激光干涉儀作為一種新型的非接觸測量技術(shù)，具有高精度、高速度和高分辨率等優(yōu)點，在表面形貌測量領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。一、工作原理動態(tài)激光干涉儀利用了光的干涉現(xiàn)象來測量表面形貌。當激光束被分束器分成兩束相干光束時，它們在空間上存在一定的相位差。當這兩束光重新相遇時，它們會形成干涉圖樣...
薄膜電阻測量儀是電子工程中常用的測量設(shè)備，主要用于測試薄膜材料的電阻值。正確的使用方法不僅影響測量結(jié)果的準確性，還直接關(guān)系到實驗的安全性。本文將詳細介紹如何正確使用薄膜電阻測量儀進行電阻測試與分析。一、準備工作：在使用薄膜電阻測量儀之前，首先要確保實驗室的環(huán)境條件符合測試要求。這包括實驗室的溫度、濕度以及空氣潔凈度。同時，為了確保測量結(jié)果的準確性，需要定期對設(shè)備進行校準。二、樣品制備：在進行電阻測試之前，需要制備待測薄膜樣品。樣品應(yīng)平整、無氣泡、無雜質(zhì)，且尺寸應(yīng)滿足測試要求。...
在工業(yè)自動化領(lǐng)域，傳感器發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，它們是實現(xiàn)設(shè)備智能化、自動化的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，電容位移傳感器以其高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點，在許多場合得到了廣泛應(yīng)用。本文將重點探討該傳感器在工業(yè)自動化中的關(guān)鍵作用。首先，電容位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式測量。在一些工業(yè)環(huán)境中，直接接觸測量可能會對設(shè)備造成損害，或者難以實現(xiàn)精確的測量。例如，在高溫、高壓、高腐蝕等惡劣環(huán)境下，使用它可以實現(xiàn)非接觸測量，避免對設(shè)備造成損傷，同時保證了測量的準確性和穩(wěn)定性。其次，具有高精度和高分辨率的優(yōu)勢。由...
薄膜電阻測量儀是一種重要的儀器設(shè)備，廣泛應(yīng)用于電子材料研究和制造過程中。它能夠準確、快速地測量薄膜材料的電阻值，幫助研究人員了解材料的導(dǎo)電性能，并為電子元器件的設(shè)計和生產(chǎn)提供重要參考。薄膜電阻測量儀的工作原理是基于四線法測量原理。它通過載流電極和測量電極，將電流引入待測薄膜材料中，然后測量電阻值。與傳統(tǒng)的兩線法測量相比，四線法消除了電路接觸電阻和導(dǎo)線電阻的影響，提高了測量的準確性和可靠性。在電子材料研究領(lǐng)域，儀器有著廣泛的應(yīng)用。首先，它可以用于表征薄膜材料的導(dǎo)電性能。通過測量...